Modeling Aspects in Optical Metrology X

Name: Modeling Aspects in Optical Metrology X
ISBN: 978-1-5106-9045-5

Zugriffsnummer	56788
Dokumenttyp	Buch
Sprache	Englisch
Titel	Modeling Aspects in Optical Metrology X
Quelle/Jahr	(2025)
Schriftenreihe	Proceedings of SPIE: 13568
Availability	[online only]
Herausgeber(in)	Bodermann, Bernd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig Frenner, Karsten
ISBN	978-1-5106-9045-5
URL	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/13568.toc
Verlag	Bellingham, Wash.: SPIE
Konferenzangaben	SPIE Optical Metrology, Munich, 23-26, June, 2025, Germany

(2025). Modeling Aspects in Optical Metrology X. Bellingham, Wash.: SPIE.