| Zugriffsnummer | 56788 |
| Dokumenttyp | Buch |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Modeling Aspects in Optical Metrology X |
| Quelle/Jahr | (2025) |
| Schriftenreihe | Proceedings of SPIE: 13568 |
| Availability | [online only] |
| Herausgeber(in) |
Bodermann, Bernd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Frenner, Karsten
|
| ISBN | 978-1-5106-9045-5 |
| URL | |
| Verlag | Bellingham, Wash.: SPIE |
| Konferenzangaben | SPIE Optical Metrology, Munich, 23-26, June, 2025, Germany |
