| Zugriffsnummer | 56528 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Optimierung der absoluten Formmessung in der Tilted-Wave-Interferometrie |
| Autor(in); Institution |
Brenner, Andreas; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Meyer, Mark-Jona; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Schober, Christian; Institut für Technische Optik (ITO), Universität Stuttgart, Stuttgart, GERMANY
Pruß, Christof; Institut für Technische Optik (ITO), Universität Stuttgart, Stuttgart, GERMANY
Herkommer, Alois; Institut für Technische Optik (ITO), Universität Stuttgart, Stuttgart, GERMANY
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| Quelle/Jahr | DGaO Proceedings 2026:(2026), 1 - 2 |
| Artikelnummer | b22 |
| ISSN | 1614-8436 (online) |
| DOI | |
| Persistent Identifier | |
| Konferenzangaben | 127. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), Hamburg, 26-29, Mai, 2026, Deutschland |
| Zusammenfassung | Die Tilted-Wave-Interferometrie ermöglicht hochgenaue Formmessungen von Asphären und Freiformflächen im Nicht-Nulltest. Die Mehrdeutigkeit der interferometrischen Phase führt jedoch zu Abweichungen in der absoluten Form. In diesem Beitrag werden zwei Methoden vorgestellt, die diese Mehrdeutigkeiten durch die Einbeziehung zusätzlicher Informationen reduzieren. |
| Themenbereich der Metrologie | Länge, dimensionelle Metrologie |
| Forschungsprojekt | DFG-Projekt Absolute Form-Interferometrie für Asphären und Freiformflächen (AbsoForm) |
| Förderinformationen (1) |
Förderername: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
Förderer ID: 0000 0001 2096 9829 Förderer ID Typ: ISNI Titel der Förderung: Absolute Form-Interferometrie für Asphären und Freiformflächen (AbsoForm) Förderungsnummer: 496703792 URI der Förderung: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/496703792?context=projekt&task=showDetail&id=496703792&; |
Zitierung
Brenner, A., Scholz, G., Meyer, M.-J., Fortmeier, I., Schober, C., Pruß, C., & Herkommer, A. (2026). Optimierung der absoluten Formmessung in der Tilted-Wave-Interferometrie. 127. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), Hamburg, 26-29, Mai, 2026, Deutschland. https://doi.org/10.83229/127-b022