| Zugriffsnummer | 54970 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Der Einfluss von Wellenvektorunsicherheit auf die Rekonstruktion der Oberflächenform bei einer MArS-Messung (Multi-Aperture-Shear Interferometry) |
| Autor(in); Institution |
Mitura, Nikodem Leonard; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Müller, André Fabian; Bremer Institut für angewandte Strahltechnik (BIAS), Bremen, GERMANY
Bergmann, Ralf Bernhard; Bremer Institut für angewandte Strahltechnik (BIAS), Bremen University of Bremen, Faculty of Physics and Electrical Engineering, MAPEX-Center for Materials and Processes, Bremen, GERMANY
Falldorf, Claas; Bremer Institut für angewandte Strahltechnik (BIAS), Bremen, GERMANY
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| Quelle/Jahr | DGaO-Proceedings:(2024), 2 S. |
| ISSN | 1614-8436 (online) |
| Persistent Identifier | |
| URL | |
| Konferenzangaben | 125. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik ; DGaO, Aachen, 21-25, Mai 2024, Deutschland |
| Zusammenfassung | Multiple Aperture Shear-Interferometry (MArS) rekonstruiert Prüflingsformen per Raytracing von reflektierten Wellenfeldern zu bekannten Quellpositionen. Wir untersuchen die Eindeutigkeit dieser Rekonstruktion durch statistische Simula-tionen. Daraus ergeben sich Anforderungen an Prüflingspositionierung sowie Kalibrierung der Lichtquellen abhängig von gewünschten Messgenauigkeiten. |
| Themenbereich der Metrologie | Länge, dimensionelle Metrologie |
| Förderinformationen (1) |
Förderername: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
Förderer ID: 0000 0001 2096 9829 Förderer ID Typ: ISNI Titel der Förderung: OPaL Transfer Förderungsnummer: 460789164 URI der Förderung: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/460789164 |
Zitierung
Mitura, N. L., Ehret, G., Müller, A. F., Bergmann, R. B., & Falldorf, C. (2024). Der Einfluss von Wellenvektorunsicherheit auf die Rekonstruktion der Oberflächenform bei einer MArS-Messung (Multi-Aperture-Shear Interferometry). 125. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik ; DGaO, Aachen, 21-25, Mai 2024, Deutschland.