| Zugriffsnummer | 53576 |
| Dokumenttyp | Dissertation |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Messung von Oberflächenprofilen mit dem Raster-Elektronenmikroskop: Herstellen und Auswerten von Stereobildpaaren |
| Autor(in); Institution |
Eckolt, Klaus; 1.62, Oberflächen, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | (1983), III, 107 S. |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-Me-44 |
| Dissertationsvermerk | Dissertation, Universität Hannover, 1983 |
| Herausgeber(in) |
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
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| ISSN | 0341-6720 |
| Berichtsnummer | PTB-Me-44 |
| Verlag | Braunschweig: Physikal.-Techn. Bundesanstalt |
| Zusammenfassung | Das beschriebene Verfahren der Herstellung von REM-Stereobildpaaren und deren quantitative Auswertung läßt exakte Aussagen über die Feingestalt von Oberflächen zu. Daraus ergeben sich zwangsläufig Rückschlüsse auf bisher nicht erfaßbaren systematischen Fehler des Tastschnittverfahrens. |
