| Zugriffsnummer | 53375 |
| Dokumenttyp | Bericht |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Scanning probe microscope with high resolution capacitive transducers |
| Autor(in); Institution |
Zhao, Xianbin; PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | (1998), II, 155 S. |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-F-32 |
| ISSN | 0179-0609 (print) |
| ISBN | 3-89429-663-1 (print) |
| Berichtsnummer | PTB-F-32 |
| Verlag | Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW |
| Zusammenfassung | Im Bericht wird detailliert auf Theorie und Anwendung von Plattenkondensatoren für die Wegmessung mit Subnanometerauflösung eingegangen. Der Aufbau eines Scanapparates aus Bimorph Piezos wird beschrieben sowie dessen Bewegungsablauf analysiert. Einen breiten Raum nimmt auch die Kalibrierung des Scanapparates mit integrierten Kondensatoren mit Hilfe eines Laserinferometers sowie die Analyse der Meßabweichungen ein. Der Einsatz des Rastersondenmikroskops für Längenmessungen ein- und zweidimensionaler Strukturen sowie spezieller Normale für Rastersondenmikroskope wird de-tailliert beschrieben und Meßabweichungen analysiert. |
