| Zugriffsnummer | 53366 |
| Dokumenttyp | Dissertation |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Verbesserte Positionsbestimmung von Strukturen auf Photomasken |
| Autor(in); Institution |
Siebert, Andreas; PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | (1996), VI, 103 S. |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-F-24 |
| Dissertationsvermerk | Dissertation, Technische Hochschule Aachen, 1996 |
| ISSN | 0179-0609 (print) |
| ISBN | 3-89429-741-7 (print) |
| Berichtsnummer | PTB-F-24 |
| Verlag | Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wissenschaft |
| Zusammenfassung | Es sind die Verfahren 1.) Fehlervermeidung durch Kalibrierung, Führungskorrektur und Fehlerkompensation sowie durch 2.) Fehlerkorrektur mittels Fehlergleichungen und Messen unter veränderten Bedingungen verschiedene Ansätze theoretisch und praktisch an einem Versuchsaufbau überprüft worden. |
