| Zugriffsnummer | 53362 |
| Dokumenttyp | Dissertation |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer |
| Autor(in); Institution |
Zhao, Xianbin; PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | (1995), III, 181 S. |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-F-20 |
| Dissertationsvermerk | Dissertation, Technische Universität Braunschweig, 1995 |
| ISSN | 0179-0609 (print) |
| ISBN | 3-89429-663-1 (print) |
| Berichtsnummer | PTB-F-20 |
| Verlag | Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW |
| Zusammenfassung | Als wichtiger Schritt für die Anwendung des SXM in der Nanometrologie wurde ein Verfahren zur Positionierung der Spitze eines STM mit Hilfe kapazitiver Aufnehmer entwickelt und untersucht. Mathematische Modelle für die Berechnung des Plattenkondensators mit Schutzringelektrode als Wegaufnehmer wurden diskutiert und verbessert. Für universelle Anwendungen wurde auch eine analoge Kompensation der Linearitätsabweichung entwickelt. |
