| Zugriffsnummer | 53359 |
| Dokumenttyp | Bericht |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Nanostrukturen und dünne Schichten : Blockseminar vom 15. bis 16. September 1993 im Rahmen des Graduiertenkollegs 'Metrologie in Physik und Technik' |
| Quelle/Jahr | (1993), 183 S. |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-F-16 |
| Herausgeber(in) |
Schlachetzki, Andreas; not affiliated
Kunzmann, Horst; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
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| ISSN | 0179-0609 (print) |
| ISBN | 3-89429-413-2 (print) |
| Berichtsnummer | PTB-F-16 |
| Verlag | Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW |
| Konferenzangaben | Blockseminar über "Nanostrukturen und Dünne Schichten", Braunschweig, 15-16, September, 1993, Deutschland |
| Zusammenfassung | Ein Überblick über den aktuellen Stand von Techniken und Verfahren zur Erzeugung von Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich sowie über Techniken zur Abscheidung und Charakterisierung dünner Schichten, speziell auf Silizium. |
