| Zugriffsnummer | 53198 |
| Dokumenttyp | Bericht |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Tunnelung von Einzelelektronen in metallischen Strukturen: Bericht über ein BMBF-Vorhaben |
| Autor(in); Institution |
Scherer, Hansjörg; 2.401, Einzelelektronentunneln, PTB-Braunschweig
Weimann, Thomas; 2.401, Einzelelektronentunneln, PTB-Braunschweig
Wolf, Henning; 3.11, Dichte, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | (1998), 79 S. |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-E-59 |
| ISSN | 0341-6674 (print) |
| ISBN | 3-89701-209-X (print) |
| Berichtsnummer | PTB-E-59 |
| Verlag | Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wissenschaft |
| Zusammenfassung | Schwerpunkt der Arbeit war die Etablierung und Weiterentwicklung von Technologien zur Herstellung von metallischen Einzelelektronentunnel-Bauelementen unter Verwendung verschiedener Materialsysteme. Mit Hilfe von Elektronenstrahllitographie und unter Einsatz des Schrägbedampfungsverfahrens wurden unterschiedliche SET-Basisschaltungen hergestellt, die aus A1/Al2O3/Al- und Cr/Cr2O3-Tunnelelementen mit lateralen Abmessungen kleiner als 100 nm aufgebaut waren. |
