| Zugriffsnummer | 52822 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Mueller matrix microscopy with machine learning inspired nanoform evaluation |
| Autor(in); Institution |
Grundmann, Jana; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | ICO25-Abstracts archive:(2022) |
| Artikelnummer | TS 11-3-01 |
| Availability | [online only] |
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| Konferenzangaben | 25th Congress of the International Commission for Optics, Dresden, 05-09, September, 2022, Germany |
| Freie Schlagworte | Müller Matrix ; Microscopy ; machine learning ; nanometrology |
| Zusammenfassung | We realized a Mueller matrix microscopy setup for nanostructure characterization. Measurements and respective simulations indicate significant influences of subwavelength sized features on off-diagonal matrix elements. Concepts from machine learning are used for image classification. |
| Themenbereich der Metrologie | Nanometrologie |
| Geschäftsfelder | Grundlagen der Metrologie ; Metrologie für die Wirtschaft |
| Forschungsprojekt | 20FUN02: POLight: Pushing boundaries of nano-dimensional metrology by light |
| Förderinformationen (1) |
Förderername: European Commission (EC)
Förderer ID: 0000 0001 2242 8989 Förderer ID Typ: ISNI Förderprogramm: EMPIR 2020 Fundamental Titel der Förderung: 20FUN02: POLight: Pushing boundaries of nano-dimensional metrology by light Förderungsnummer: 20FUN02 URI der Förderung: https://www.euramet.org/research-innovation/search-research-projects/details/project/pushing-boundaries-of-nano-dimensional-metrology-by-light |