| Zugriffsnummer | 52229 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Integrierte photonische Schaltkreise für die Kontaktthermometrie |
| Übersetzungstitel | Integrated photonic circuits for contact thermometry |
| Autor(in); Institution |
Schmid, Daniel; 7.4, Temperatur, PTB-Berlin
Zimmermann, L.; IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder), GERMANY
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| Quelle/Jahr | Temperatur 2024 : Fachtagung, PTB Institut Berlin, 5. und 6. Juni 2024 : Verfahren und Geräte in der Temperatur- und Feuchtemesstechnik:(2024), 53 - 58 |
| ISBN | 978-3-944659-10-7 |
| Konferenzangaben | TEMPERATUR 2024, Berlin, 05-06, Juni, 2024, Deutschland |
| Zusammenfassung | Silizium basierte photonisch integrierte Schaltkriese als Temperatursensoren ermöglichen eine hochgenaue rein optische Temperaturmessung. Um die Abhängigkeit der optischen Eigenschaften von ihrer Position auf dem 200 mm Wafer zu untersuchen, wurden Spektren von 2242 Ringresonatoren aus 59 nominell identischen photonischen Chips ausgewertet. Über die Streuung der für die Sensorik relevanten optischen Parameter wie Halbwertsbreite und Extinktion konnte die Variation des Transmissionskoeffizienten aus der Transferfunktion bestimmt werden. Erste Ergebnisse der thermischen Charakterisierung eines fasergekoppelten photonischen Sensors in einem hochstabilen Flüssigkeitsbad werden gezeigt. In einem ersten Temperaturzyklus zwischen 0 °C und 75 °C zeigte sich die Hysterese des Sensors als dominanter Faktor der Unsicherheit. |
| Themenbereich der Metrologie | Thermometrie |