| Zugriffsnummer | 51690 |
| Dokumenttyp | Bericht |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Untersuchungen über die Anwendbarkeit des Schwingquarzverfahrens und des Vielstrahlinterferenzverfahrens zur Schichtdickenbestimmung mit einer Meßunsicherheit unter 1 nm |
| Autor(in); Institution |
Hanßen, Karl-Joseph; 6.2, Elektronen-, Ionen- und Röntgenstrahlen, PTB-Braunschweig
Bokelmann, Friedrich; not affiliated
Lauer, Rolf; 6.21, Elektronenoptik, PTB-Braunschweig
Seibt, Andreas; 6.21, Elektronenoptik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | (1973), 25 Bl. |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-APh-2 |
| Herausgeber(in) |
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
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| ISSN | 0341-6690 (print) |
| Berichtsnummer | PTB-APh-2 |
| Verlag | Braunschweig [u.a.]: Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
Zitierung
Hanßen, K.-J., Bokelmann, F., Lauer, R., & Seibt, A. (1973). Untersuchungen über die Anwendbarkeit des Schwingquarzverfahrens und des Vielstrahlinterferenzverfahrens zur Schichtdickenbestimmung mit einer Meßunsicherheit unter 1 nm (Report No. PTB-APh-2). Braunschweig [u.a.]: Physikalisch-Technische Bundesanstalt.