In dieser Arbeit wird eine neue Methode zur elementsensitiven Charakterisierung von periodischen Nanostrukturen entwickelt und metrologisch detailliert analysiert. Sie basiert auf der Erweiterung der bekannten Technik der Röntgenfluoreszenzspektrometrie unter streifendem Einfall auf 2D-Strukturen. Dabei wird die Funktionalität der Nanostrukturen von der Materialverteilung bestimmt. Material in der Größenordnung mehrere Nanometer unterscheidet sich in seinen Eigenschaften von Bulkmaterial, einzelnen Atomen oder Molekülen. Diese Nanostrukturen werden beispielsweise bereits für Displays und elektronischen Mikrochips kommerziell produziert. Die Leistung und gleichbleibende Qualität von Nanostrukturen werden durch eine gut kontrollierte Herstellung gewährleistet. Zur Charakterisierung werden Messtechniken im Nanobereich benötigt. Die Nanometrologie ist ein Zweig der Metrologie, der sich mit der Messung und Charakterisierung von Nanostrukturen befasst.
Kostenfreier Zugang
Freier Zugang
Themenbereich der Metrologie
Photometrie und Radiometrie
Zitierung
Andrle, A. (2023). Reconstruction of periodic nanostructures using grazing incidence X-ray fluorescence [Dissertation, Technische Universität Berlin, 2023]. https://doi.org/10.14279/depositonce-19243
