Progress on traceable surface and nanometrology: 2nd nanomeasuringand nanopositioningmachine (NMM) at PTB

Dai, Gaoliang; Pohlenz, Frank; Wolff, Helmut; Xu, Min; Brand, Uwe; Flügge, Jens

Zugriffsnummer	51540
Dokumenttyp	Konferenzartikel
Peer Review	unbekannt
Sprache	Englisch
Titel	Progress on traceable surface and nanometrology: 2nd nanomeasuringand nanopositioningmachine (NMM) at PTB
Autor(in); Institution	Dai, Gaoliang; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig Pohlenz, Frank; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig Wolff, Helmut; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig Xu, Min; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig Brand, Uwe; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig Flügge, Jens; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Quelle/Jahr	NanoScale 2023: Dimensional and related measurements in the micro- and nanometre range:(2023), 91 - 93
Artikelnummer	G-2
Konferenzangaben	NanoScale 2023, Helsinki, 10-12, Oktober, 2023, Finland
Freie Schlagworte	Scanning Probe Microscopy ; Profilometry ; Nanometrology ; Micrometrology ; Calibration ; metrological AFM ; nanoscale calibration ; surface metrology ; stylus profilometry ; traceability ; nanopositioning

Zitierung

Dai, G., Pohlenz, F., Wolff, H., Xu, M., Brand, U., & Flügge, J. (2023). Progress on traceable surface and nanometrology: 2nd nanomeasuringand nanopositioningmachine (NMM) at PTB. NanoScale 2023, Helsinki, 10-12, Oktober, 2023, Finland.

Exportieren

RIS BibTeX

Zitierung

Exportieren

PTB-Publica Menü