| Zugriffsnummer | 49228 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Englisch |
| Titel | AFM profilometry at micro-structure edges in support of high accuracy optical metrology |
| Autor(in); Institution |
Mirandé, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
Geuther, Heinrich; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
Schröder, Klaus-Peter; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Silicium in der Meßtechnik : Vorträge des 104. PTB-Seminars vom 11. und 12.10.1993:(1994), 175 - 186 |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-F-18 |
| Herausgeber(in) |
Wilkening, Günter; 5.1, Mikrostrukturmeßsysteme, PTB-Braunschweig
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| ISSN | 0179-0609 (PRINT) |
| ISBN | 3-89429-469-8 (PRINT) |
| Berichtsnummer | PTB-F-18 |
| Verlag | Braunschweig: |
