| Zugriffsnummer | 48752 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Untersuchung des Schwingungseinflusses auf gemessene Punktspreizfunktionen in der optischen Mikroskopie |
| Autor(in); Institution |
Krüger, Jan; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Manley, Philip; JCMwave GmbH, Berlin, GERMANY; Zuse Institute Berlin, Berlin, GERMANY
Zschiedrich, Lin; JCMwave GmbH, Berlin, GERMANY; Zuse Institute Berlin, Berlin, GERMANY
Hammerschmidt, Martin; JCMwave GmbH, Berlin, GERMANY; Zuse Institute Berlin, Berlin, GERMANY
Schneider, Philipp-Immanuel; JCMwave GmbH, Berlin, GERMANY; Zuse Institute Berlin, Berlin, GERMANY
Köning, Rainer; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Bodermann, Bernd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | DGaO-Proceedings 2022:(2022), 1 - 2 |
| Auflage | 123 |
| Availability | [online only] |
| ISSN | 1614-8436 (ONLINE) |
| Persistent Identifier | |
| URL | |
| Konferenzangaben | 123. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), Pforzheim, 07-11, June, 2022, Deutschland |
| Freie Schlagworte | Mikroskopie ; bidirektionale Messungen |
| Zusammenfassung | Gemessene Punktspreizfunktionen (PSF), auch Airy-Scheibchen genannt, sind in der Lichtmikroskopie ein bekanntes Mittel zur Beurteilung des verwendeten Bildgebungssystems. So kann z.B. anhand der Radien der gemessenen Beugungsscheiben auf das laterale Auflösungsvermögen der verwendeten Objektive geschlossen werden. Weiterhin können optische Aberrationen des Messsystems und Schwingungen während der Bildakquisition in den gemessenen Beugungsringen Asymmetrien hervorrufen. In dem Beitrag stellen wir Messungen der PSF an kreisförmigen Strukturen mit nominalen Durchmessern (< λ/2) von 100 nm bzw. 180 nm einer CoG-Maske vor. Das hierfür verwendete Mikroskop arbeitet bei einer Wellenlänge von 365 nm und mit einer 200-fachen Vergrößerung. Die Beleuchtungs-, und Abbildungs-NA betragen 0.44 und 0.55. Beobachtete Asymmetrien werden mit Hilfe von simulierten PSF verglichen. Die simulierten PSF haben hier Schwingungen unterschiedlicher Frequenzen und Richtungen. Anhand der Ergebnisse werden Aussagen über den Schwingungseinfluss auf das eingesetzte Messsystem formuliert. Wir unterscheiden hier zwischen den zwei verwendeten Messkonfigurationen des Mikroskops und stellen dessen Justageprinzip vor. |
Zitierung
Krüger, J., Manley, P., Zschiedrich, L., Hammerschmidt, M., Schneider, P.-I., Köning, R., & Bodermann, B. (2022). Untersuchung des Schwingungseinflusses auf gemessene Punktspreizfunktionen in der optischen Mikroskopie. 123. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), Pforzheim, 07-11, June, 2022, Deutschland.