| Zugriffsnummer | 47418 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Bestimmung der Dicke dünner Metallschichten mit dem Differenzen-Interferometer1) |
| Autor(in); Institution |
Lebowsky, Fritz; 1.6, Industrielle Längenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Li, P. S.; 1.63, Maßteilungen, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | PTB-Mitteilungen: 95 (1985), 5, 327 - 332 |
| ISSN | 0030-834X (PRINT) |
| Verlag | Braunschweig: Vieweg |
| Zusammenfassung | Es wird die Meßunsicherheit bei der photoelektrischen Bestimmung von Schichtdicken mit einem Differenzen-Interferometer theoretisch untersucht und experimentell nachgeprüft. Die Meßergebnisse zeigen, dass bei Beachtung der angegebenen Bedingungen die Unsicherheiten im nm-Bereich liegen. |
