| Datensatz noch nicht abgeschlossen | |
| Zugriffsnummer | 47269 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Kalibrierung photoelektrischer Messmikroskope für Messungen von Feinstrukturen |
| Autor(in); Institution |
Lebowsky, Fritz; 1.6, Industrielle Längenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Steppuhn, H.; PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | PTB-Mitteilungen: 93 (1983), 6, 375 - 382 |
| ISSN | 0030-834X (PRINT) |
| Verlag | Braunschweig: Vieweg |
| Zusammenfassung | Es wird gezeigt, unter welchen Bedingungen sich das Strich/Lücke-Verhältnis eines Strichgitters zum einen mit Hilfe des Beugungsbildes und zum anderen durch Messen der Strichkantenabstände mir einem photoelektrischen Messmikroskop bestimmen lässt. Ein Vergleich beider Verfahren führt zu einer Abschätzung der systematischen Fehler der Messung von Feinstrukturen mit photoelektrischen Messmikroskopen und damit zu deren Kalibrierung. |
