| Zugriffsnummer | 44745 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Charakterisierung eines UV-Mikroskops zur hochgenauen Positions- und Breitenmessung am Nanometerkomparator (NMK) der PTB |
| Autor(in); Institution |
Krüger, Jan; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Xu, Han; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Köning, Rainer; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Bodermann, Bernd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | DGaO Proceedings 2020:(2020), 1 - 2 |
| ISSN | 1614-8436 |
| Persistent Identifier | |
| URL | |
| Konferenzangaben | 121. Tagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (cancelled), Bremen, 02-06, Juni, 2020, Deutschland |
| Freie Schlagworte | Optische bidirektionale Breitenmessungen ; UV- Mikroskopie |
| Zusammenfassung | Wir untersuchen das UV- Mikroskop am Nanometerkomparator (NMK) der PTB hinsichtlich der Messung von Strukturbreiten. Erste Messungen einer Chromlinie auf einem Glassubstrat wurden durchgeführt und stimmen gut mit rigorosen Simulationen überein. [Die Konferenz hat aufgrund von Covid-19 nicht stattgefunden, die Konferenzbeiträge wurden aber veröffentlicht.] |
| Themenbereich der Metrologie | Nanometrologie |
| Forschungsprojekt | Flankierende Maßnahme der PTB (Abteilungen 4 und 5): Optische bidirektionale Messungen |
Zitierung
Krüger, J., Xu, H., Köning, R., & Bodermann, B. (2020). Charakterisierung eines UV-Mikroskops zur hochgenauen Positions- und Breitenmessung am Nanometerkomparator (NMK) der PTB. 121. Tagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (cancelled), Bremen, 02-06, Juni, 2020, Deutschland.