| Zugriffsnummer | 43950 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Entwurf und Optimierung eines planaren Vielfachthermokonverters zur präzisen Rückführung des Effektivwertes von Wechselgrößen auf äquivalente Gleichgrößen |
| Autor(in); Institution |
Klonz, Manfred; 2.43, Thermoelektrische Sensoren, PTB-Braunschweig
Weimann, Thomas; 2.24, Dünnschichtstrukturen, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | PTB-Mitteilungen: 100 (1990), 4, 243 - 250 |
| ISSN | 0030-834X |
| Verlag | Braunschweig: Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
| Zusammenfassung | Der Entwurf eines planaren Vielfachthermokonverters in Dünnschichttechnik auf einem Silicium-Chip wird beschrieben. Zur Verminderung der Wärmeleitung wird im Bereich der Thermoelemente das Silicium bis auf ein Fenster aus einer SiO2-Membran durch anisotropes Ätzen entfernt. Eine Computersimulation berechnet die optimale geometrische Konfiguration für höchste Empfindlichkeit und geringsten Temperaturkoeffizienten. Der Entwurf kann einfach für verschiedene Frequenzbereiche optimiert werden. Er eröffnet die Möglichkeit der Serienproduktion eines Wechsel-Gleich-Transfernormals für Spannung, Stromstärke und Leistung mit geringster Meßunsicherheit. Durch Aufbringen einer absorbierenden Schicht im Heizerbereich kann ein hochempfindliches Radiometer gebaut werden. A design for a new planar thin film of multijunction thermocouples on a silicon chip is described. In order to minimize heat conduction, the chip is equipped with a window with a SiO2-membrane underneath the thermocouples. The device is used as the sensor element for the temperature difference in a multijunction thermal converter for ac-dc transfer of electrical quantities like voltage, current and power via Joule heat in a thin film resistor. In a computer simulation the optimum geometrical configuration for highest responsitivity and lowest temperature coefficient has been calculated. The design can easily be optimized for applications in different frequency ranges. It offers the possibility of mass production of ac-dc transfer standards for the highest level of accuracy. By coating the heater with an optically absorbing layer the design can be used to produce a highly sensitive radiometer. Auch enthalten in: PTB 1975-1995 : Präsidentschaft Dieter Kind, 1995 [Aufsatzsammlung] |
