Mit genauen Vakuummessungen ist es nicht nur möglich, die erforderlichen Umgebungsbedingungen für viele Experimente in
Forschung und Entwicklung zu schaffen, sondern auch Prozesse in der Industrie zu steuern und den Informationsaustausch
zwischen Herstellern und Anwendern von Vakuumgeräten zu unterstützen. Die Hauptaufgabe der Vakuummetrologie, also der
Wissenschaft vom Vermessen des Vakuums, ist die Rückführung von Messgrößen auf das Internationale Einheitensystem SI. In
den letzten Jahren sind jedoch weitere Aufgaben hinzugekommen: die Charakterisierung des Vakuums durch
Partialdruckmessungen, rückgeführte Ausgasratenmessungen sowie dynamische Druckmessungen im Vakuum.
By accurate vacuum measurement, it is possible to control processes in industry, to ensure the necessary environmental conditions
for many experiments in science and research and to support the commercial relationship between manufacturers and users of
vacuum equipment. The main task of vacuum metrology, the science of vacuum measurement, is to provide traceability of vacuum
measurements to the SI. In recent years, also the characterization of vacuum by partial pressure analysis and outgassing rate
measurement, and the dynamics of vacuum measurement became an issue for vacuum metrology.
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Zitierung
Jousten, K. (2019). Vacuum metrology and its impact on research and Industry : from state of the art measurements to future trends. Vakuum in Forschung und Praxis, 31(4), 16–22. https://doi.org/10.1002/vipr.201900715
