| Zugriffsnummer | 39429 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Das neue Antriebskonzept am Nanometerkomparator der PTB |
| Übersetzungstitel | The new positioning system at the PTB's nanometer comparator |
| Autor(in); Institution |
Köchert, Paul; TU Ilmenau, Fakultät für Maschinennbau, Ilmenau, GERMANY
Köning, Rainer; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Weichert, Christoph; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Flügge, Jens; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Manske, Eberhard; TU Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau, Ilmenau, GERMANY
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| Quelle/Jahr | Technisches Messen: 84 (2017), S1, S13 - S21 |
| ISSN | 0171-8096 (PRINT) ; 2196-7113 (ONLINE) |
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| Verlag | Berlin: De Gruyter |
| Freie Schlagworte | Vakuum-Interferometrie ; dezentrales Steuerungssystem ; Nanopositionierung ; Lorentz-Aktuator |
| Zusammenfassung | In diesem Beitrag wird ein neues Antriebskonzept des an der PTB für Längenmessungen bis zu 0,55m betriebenen Vakuumkomparators beschrieben. Dessen Positioniersystem auf Basis eines Direktantriebs wurde um eine sekundäre Steuereinheit erweitert, um auf Grundlage von Rückkopplungsdaten seines Vakuum-Interferometers einen zusätzlichen elektromagnetischen Aktuator anzutreiben. Anhand von Messungen konnte mit diesem dezentralen Antriebskonzept ein Positionsrauschen (1sigma) von 0,2nm bei einer Mittelungszeit von 10ms nachgewiesen werden. This publication describes a positioning system with a moving range of up to 550mm and a position stability in the sub-nanometer range. The existing drive system guided by air-bearings of the so-called Nanometer Comparator had been upgraded by an additional electro-magnetic actuator and an FPGA-based motion controller. The new motion control loop takes advantage of feedback signals derived from the integrated vacuum interferometer. Recent measurements have demonstrated a positioning noise (1sigma) of 0.2nm at an integration time of 10ms. |
