| Zugriffsnummer | 38552 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Positionierung mit dem Differenzinterferometer |
| Autor(in); Institution |
Karovic, Karol; SAdW Bratislava, Institut für Meßwesen und Meßtechnik, Bratislava, CZECH REPUBLIC
Lebowsky, Fritz; 5.1, Industrielle Längenmesstechnik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | PTB-Mitteilungen: 97 (1987), 6, 515 - 519 |
| ISSN | 0030-834X |
| Verlag | Braunschweig ; Wiesbaden: Vieweg |
| Zusammenfassung | Interferometer mit Zweifrequenzlasern lassen sich für Schichtdickenbestimmungen einsetzen. Unter Zuhilfenahme der Theorie dünner absorbierender Schichten können auch Schichtdicken mit unterschiedlichen Reflexionsgraden und Phasensprügen gemessen werden, wie z.B. die Dicken der auf Glas aufgedampften Chromschichten. Um die laterale Lage dieser Schichtübergange zu bestimmen, ist das Phasenverhalten für Kantenübergänge berechnet worden. Die Experimentelle Auswertung liefert eine Reproduzierbarkeit der Positionsmessung im Bereich von 10 bis 100 Nanometer. Interferometers with two-mode-lasers are suitable for measuring the thickness of layers. By using the theory of absorbing thin films the layers with different reflectionfactors and phaseshifts can be measured, too, for instance the thickness of the evaporated chromiumlayer on glass. To determine the position of the edge of the layers, the behaviour of the phase is calculated at the change over the edge. The evaluation of the measurements gives a reproducibility of the position in the range of 10 to 100 nanometers. |
