| Zugriffsnummer | 38463 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Messung von Winkel- und Formabweichungen an Spigelpolygonflächen mit einem Phaseninterferometer |
| Autor(in); Institution |
Propst, Reinhard; 5.22, Winkel und Verzahnung, PTB-Braunschweig
Kunzmann, Horst; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | PTB-Mitteilungen: 103 (1993), 1, 43 - 50 |
| ISSN | 0030-834X (PRINT) |
| Verlag | Wiesbaden: Vieweg |
| Zusammenfassung | Es wird die Anwendung eines rechnergesteuerten Phaseninterferometers zur gleichzeitigen Winkel- und Formmessung an Spiegelpolygonflächen beschrieben. Untersuchungen zum direkten Vergleich der Meßergebnisse des Phaseninterferometers und eines elektrischen Autokollimators wurden durchgeführt. Ein Zusammenhang zwischen den Differenzen dieser Messungen und den Formabweichungen der Flächen vom Mittelwert konnte nachgewiesen werden. Bei Abweichungen unter 6 nm (RMS) lagen die Differenzen innerhalb von ± 0,02''. The application of a phase-shifting interferometer for simultaneous measurements of angle and form of mirror polygon faces is described. Investigations have been performed to directly compare measurements made with the interferometer with those carried out with an electronic autocollimator. A correlation between the differences of these measurements and the form deviations of the faces from the mean could be proved. For deviations below 6 nm (RMS) the differences were within ± 0,02''. |
