| Zugriffsnummer | 38195 |
| Dokumenttyp | Dissertation |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Nanostrukturierung mit dem Rastertunnelmikroskop |
| Autor(in); Institution |
Köning, Rainer; 5.12, Mikrotopographie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | (1997), 110 S. |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-F-26 |
| Dissertationsvermerk | Dissertation, Technische Universität Braunschweig, 1997 |
| Herausgeber(in) |
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
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| ISSN | 0179-0609 |
| ISBN | 3-89429-829-4 |
| Berichtsnummer | PTB-F-26 |
| Verlag | Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wissenschaft |
| Zusammenfassung | Nach einer Vorstellung der bisherigen Ergebnisse aus Nano-strukturierungsexperimenten erfolgt eine Vorauswahl aus den bekannten Strukturierungsverfahren. Danach folgt eine Darstellung der theoretischen Grundlagen des Rastertunnelmikroskops und der Abscheidungsmechanismen und der Ergebnisse der Untersuchungen nach dem ausgewählten Impulsverfahren. |
