| Zugriffsnummer | 38094 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Development of sub-micrometer critical dimension standards |
| Autor(in); Institution |
Mirandé, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
Geuther, Heinrich; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
Jacobsen, Harald; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Proceedings of the International Seminar on Quantitative Microscopy:(1995), 61 - 64 |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-F-21 |
| Herausgeber(in) |
Hasche, Klaus; 5.43, Schichtdicke, PTB-Berlin
Mirandé, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
Wilkening, Günter; 5.1, Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
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| ISSN | 0179-0609 |
| ISBN | 3-89429-921-5 |
| Berichtsnummer | PTB-F-21 |
| Verlag | Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wissenschaft |
| Konferenzangaben | 125th PTB-Seminar: International Seminar on Quantitative Microscopy, Braunschweig, 04-05, October, 1995, Germany |
