| Zugriffsnummer | 38088 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Interferometrische Bestimmung der Dickenverteilung von beiseitig polierten Si-Wafern im nahen Infrarot |
| Autor(in); Institution |
Melle, Hermann; 4.201, Mikroteilchen, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Silicium in der Meßtechnik : Vorträge des 104. PTB-Seminars vom 11. und 12.10.1993:(1994), 157 - 174 |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-F-18 |
| Herausgeber(in) |
Wilkening, Günter; 5.1, Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
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| ISSN | 0179-0609 |
| ISBN | 3-89429-469-8 |
| Berichtsnummer | PTB-F-18 |
| Verlag | Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wissenschaft |
| Konferenzangaben | 104. PTB-Seminar: Silicium in der Meßtechnik, Braunschweig, 11.-12. Oktober 1993, Deutschland |
