Measurement capabilities of optical 3D-sensors for MST applications

Brand, Uwe; Flügge, Jens

doi:https://doi.org/10.1016/s0167-9317(98)00146-4

Zugriffsnummer	38026
Dokumenttyp	Konferenzartikel in Zeitschrift
Sprache	Englisch
Titel	Measurement capabilities of optical 3D-sensors for MST applications
Autor(in); Institution	Brand, Uwe; 5.11, Maskenmesstechnik, PTB-Braunschweig Flügge, Jens; 5.11, Maskenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Quelle/Jahr	Microelectronic Engineering: 41-42 (1998), 623 - 626
ISSN	0167-9317
DOI	https://doi.org/10.1016/s0167-9317(98)00146-4
Verlag	Amsterdam: Elsevier
Konferenzangaben	23rd International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE), Athens, 15-18, September, 1998, Greece

Zitierung

Brand, U. & Flügge, J. (1998). Measurement capabilities of optical 3D-sensors for MST applications. Microelectronic Engineering, 41-42, 623–626. https://doi.org/10.1016/s0167-9317(98)00146-4

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