| Zugriffsnummer | 37637 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Interferometrischer Liniensensor zur Formmessung von rotationssymmetrischen optisch glatten Oberflächen |
| Übersetzungstitel | Interferometric line sensor for form measurement of rotationally symmetric optical smooth surfaces |
| Autor(in); Institution |
Laubach, Sören; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Ehret, Gerd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Lehmann, Peter; Universität Kassel, Kassel, GERMANY
Riebeling, Jörg; Universität Kassel, Kassel, GERMANY
|
| Quelle/Jahr | Technisches Messen: 84 (2017), 3, 166 - 173 |
| ISSN | 0171-8096 (PRINT) ; 2196-7113 (ONLINE) |
| DOI | |
| Verlag | Berlin: De Gruyter |
| Freie Schlagworte | Interferometrie ; 3D-Messtechnik ; Formmesstechnik |
| Zusammenfassung | Es wird ein neuartiges Formmesssystem basierend auf einem interferometrischen Liniensensor vorgestellt. Der Liniensensor wird mit einem Bewegungssystem so nachgeführt, dass die Beleuchtungsstrahlen möglichst senkrecht zur Prüflingsoberfläche stehen. Das linienbasierte Formmesssystem bietet die Möglichkeit einer schnellen und flexiblen Messung. In den Überlappbereichen sind redundante Informationen enthalten, die zu einer genaueren Auswertung führen als bei einem Punktsensor. Die Formmessung mit Punktsensoren ist langsam, und die Genauigkeit ist durch dasBewegungssystem limitiert, da die Bewegungsachsen systematische und zufällige Führungsfehler haben. Diese Führungsfehler können nicht ohne Weiteres eliminiert werden und führen deshalb zu einer erhöhten Messunsicherheit bei der Formmessung. Bei vollflächig messenden Systemen werden i.Allg. sehr große Optiken benötigt, die mit hohen Kosten verbunden sind. In diesem Beitrag wird der Aufbau des linienbasierten Systems und exemplarisch einige Messergebnisse vorgestellt. Für die Förderung dieses Projektes (LE 992/7-2, EH 400/4-2) durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) bedanken sich die Autoren. Dieses Projekt ist eine Zusammenarbeit des Fachgebietes Messtechnik am Fachbereich Elektrotechnik/Informatik der Universität Kassel und der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB). |
