| Zugriffsnummer | 35826 |
| Dokumenttyp | Dissertation |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern |
| Autor(in); Institution |
Schmaljohann, Frank; 5.5, Wissenschaftlicher Gerätebau, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | (2015), 139 S. |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-F-56 |
| Dissertationsvermerk | Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2015 |
| ISSN | 0179-0609 |
| ISBN | 978-3-95606-233-9 |
| DOI | |
| Berichtsnummer | PTB-F-56 |
| Verlag | Bremen: Fachverlag NW in der Carl-Schünemann-Verlags-GmbH |
| Freie Schlagworte | Elektrische Isolationsschichten ; Dünnschichtsensoren ; Magnetron Sputtern ; HiPIMS |
Zitierung
Schmaljohann, F. (2015). Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern [Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2015]. Bremen: Fachverlag NW in der Carl-Schünemann-Verlags-GmbH. https://doi.org/10.7795/110.20160804