| Zugriffsnummer | 35260 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Charakterisierung von Oberflächenablagerungen mit einem Mikrobiegebalken-Tastsensor im Kontakt-Resonanzmodus |
| Autor(in); Institution |
Wasisto, Hutomo Suryo; TU Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik, Braunschweig, GERMANY; Laboratory for Energing Nanometrology, Braunschweig, GERMANY
Dang, Ruochen; TU Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik, Braunschweig, GERMANY
Doering, Lutz; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Brand, Uwe; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Peiner, Erwin; TU Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik, Braunschweig, GERMANY; Laboratory for Energing Nanometrology, Braunschweig, GERMANY
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| Quelle/Jahr | MEMS, Mikroelemente, Systeme: MikroSystemTechnik Kongress 2015 ; 26. - 28. Oktober 2015 in Karlsruhe ; proceedings:(2015), 36 - 39 |
| ISBN | 978-3-8007-4100-7 |
| Verlag | Berlin: VDE Verlag GmbH |
| Konferenzangaben | MikroSystemTechnik Kongress, Karlsruhe, 26-28, Oktober, 2015, Deutschland |
| Freie Schlagworte | Silizium-Biegebalken-Tastsensoren ; Wheatstone-Messbrücke |
| Zusammenfassung | Die Eignung von Silizium-Biegebalken-Tastsensoren mit anwendungsbezogen ausgeführter schlanker Geometrie wird in Hinblick auf den Nachweis von Oberflächenablagerungen anhand materialspezifischer Elastizitätseigenschaften untersucht, die durch Änderungen der Resonanzfrequenz und des Gütefaktors des schwingenden Biegebalkens bei Kontakt mit der Oberflache angezeigt Wird. Eine piezoresistive Wheatstone-Messbrücke (WB) und eine nasschemisch geätzte pyramidenförmige Spitze sind zur elektrischen Signalauslesung bzw. zur punktförmigen Antastung auf dem Biegebalken integriert. Für drei ausgewählte Modellmaterialien (Si, Cu und Gummi) ergeben sich gedämpfte Eigenschwingungen mit vom Elastizitätsmodul abhängigen, zu höheren Werten hin verschobenen Eigenfrequenzen. Der Sensor ist als Schlüsselkomponente eines adaptierbaren Form- und Rauheitsmesssystems für die Inline-Prozessüberwachung an Bearbeitungszentren für Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis vorgesehen. |
