| Zugriffsnummer | 35240 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Anwendung der Virtuellen Rasterkraftmikroskopie zur Auswertung der Messunsicherheit und Optimierung der markerbasierten 3D-Kalibrierstrategie |
| Autor(in); Institution |
Min, Xu; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Dziomba, Thorsten; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Danzebrink, Hans-Ulrich; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Koenders, Ludger; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Hemmleb, Matthias; m2c microscopy measurement and calibration GbR, Potsdam, GERMANY
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| Quelle/Jahr | Messunsicherheit praxisgerecht bestimmen und Prüfprozesse in der industriellen Praxis:(2015), 71 - 80 |
| Schriftenreihe | VDI-Berichte: 2269 |
| ISBN | 978-3-18-092269-0 |
| Verlag | Düsseldorf: VDI-Verlag |
| Konferenzangaben | 7. VDI-Fachtagung Messunsicherheit Praxisgerecht Bestimmen, Braunschweig, 19-20, November, 2015, Deutschland |
| Freie Schlagworte | Messunsicherheit ; Rasterkraftmikroskopie ; Kalibrierung ; Modellierung ; Simulation |
| Zusammenfassung | Das Virtuelle Rasterkraftmikroskop (Virtuelles AFM) wertet die Messunsicherheit eines AFM mittels Aufbau numerischer Modelle und Simulation des Messablaufs aus. In der vorliegenden Arbeit wurde es auf eine markerbasierte 3D-Kalibrierstrategie angewandt und hierfür die Kalibrierunsicherheit berechnet. Dabei wurden schwerpunktmäßig die Fertigungsfehler des verwendeten 3D-Kalibriernormals und die thermische Drift des Rasterkraftmikroskops während der Messung simuliert, woraus sich Schlussfolgerungen für eine verbesserte Fertigung der 3D-Kalibrierobjekte und - über eine systematische Variation von diversen Geräte-Einstellungen in der Simulation - eine optimierte Strategie zu deren Kalibrierung ableiten lassen. |
Zitierung
Min, X., Dziomba, T., Danzebrink, H.-U., Koenders, L., & Hemmleb, M. (2015). Anwendung der Virtuellen Rasterkraftmikroskopie zur Auswertung der Messunsicherheit und Optimierung der markerbasierten 3D-Kalibrierstrategie. 7. VDI-Fachtagung Messunsicherheit Praxisgerecht Bestimmen, Braunschweig, 19-20, November, 2015, Deutschland.