| Zugriffsnummer | 34136 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Oberflächenuntersuchungen mit Vakuum-UV-Strahlung |
| Autor(in); Institution |
Kolbe, Michael; 7.1, Radiometrie mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Darlatt, Erik; 7.1, Radiometrie mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Fliegauf, Rolf; 7.1, Radiometrie mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Kaser, Hendrik; 7.1, Radiometrie mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Gottwald, Alexander; 7.1, Radiometrie mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Richter, Mathias; 7.1, Radiometrie mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
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| Quelle/Jahr | PTB-Mitteilungen: 124 (2014), 4, 29 - 32 |
| ISSN | 0030-834X |
| DOI | |
| Verlag | Bremen: Fachverlag NW im Carl Schünemann Verlag |
| Zusammenfassung | Neue Materialien sind in vielen Bereichen der Schlüssel für technologische Entwicklungen. Dabei spielt die Quantifizierung relevanter Materialparameter wie die elektronische, chemische und morphologische Struktur sowie die elementare Zusammensetzung eine zentrale Rolle. Der Mangel an geeigneten Referenzproben für quantitative analytische Verfahren erfordert in diesem Zusammenhang jedoch oft eine messtechnische Rückführung. Daher wurden mit der Inbetriebnahme des PTB-Laboratoriums bei BESSY II im Jahre 1999 und der MLS im Jahre 2008 neben und basierend auf der Radiometrie verschiedene Themen der Materialmetrologie mit Synchrotronstrahlung aufgegriffen, die auch umfangreiche Beteiligungen im Rahmen des Europäischen Metrologie- Forschungsprogramms EMRP möglich gemacht haben. Dies betrifft die Röntgenspektrometrie und die referenzprobenfreie Röntgenfluoreszenzanalytik, die Nanometrologie, d. h. die rückführbare Bestimmung von Partikelgrößen, Oberflächenstrukturen und Schichtdicken im Nanometerbereich durch Röntgenkleinwinkelstreuung und -reflektometrie, die Mikro- und Nanospektroskopie im Infrarot- und THz-Bereich sowie Oberflächenuntersuchungen mit Synchrotronstrahlung im Spektralbereich des Vakuum-UV (VUV). Dazu werden im Folgenden erste Ergebnisse der Ellipsometrie in diesem Spektralbereich vorgestellt, die in einer vertraglich vereinbarten Kooperation mit dem Leibniz-Institut für Analytische Wissenschaften ISAS (AG Prof. N. Esser) erzielt wurden, sowie der Photoelektronenspektroskopie im Rahmen einer vertraglich vereinbarten Kooperation mit der TU Berlin (AG Prof. W. Eberhardt). |
