| Zugriffsnummer | 33545 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Doppelseitige Fizeau-Interferometer mit Phasenverschiebeauswertung für dimensionelle Messungen |
| Autor(in); Institution |
Nicolaus, Arnold; 5.13, Interferentielle Längenmessung, PTB-Braunschweig
Bönsch, Gerhard; 5.13, Interferentielle Längenmessung, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Technisches Messen: 65 (1998), 3, 83 - 90 |
| ISSN | 0171-8096 (PRINT) ; 2196-7113 (ONLINE) |
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| Verlag | München: Oldenbourg |
| Freie Schlagworte | Fizeau-Interferenzen ; Phasenverschiebungsinterferometrie ; Topographien ; interferentielle Längenmessung |
| Zusammenfassung | Maßverkörperungen für Volumen oder Länge lassen sich mit höchster Genauigkeit messen, wenn doppelseitige Fizeau-Interferometer mit Phasenverschiebeauswertung verwendet werden. Diese Technik eignet sich für regelmäßige Körper mit spiegelnden, ebenen oder sphärischen Oberflächen. Für die Messungen werden die Körper in das Interferometersystem einbezogen, so daß Lichtwellen geeigneter Wellenfront und bekannter Wellenlänge die Oberflächen direkt antasten. Es werden Interferometer zur Messung von Kugeln und Würfeln einschließlich der notwendigen Regeleinrichtungen und Datenauswertungssysteme beschrieben. Die Eigenschaften eines speziellen Fizeau-Algorithmus und eines konkreten Interferometers werden an Hand von experimentellem Material erläutert. |
