| Zugriffsnummer | 33527 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Measurement of coating thickness on cross-sections by SEM |
| Autor(in); Institution |
Ahbe, Thomas; 5.21, Härte und Schichtdicke, PTB-Braunschweig
Haft, Norbert; 5.21, Härte und Schichtdicke, PTB-Braunschweig
Hasche, Klaus; 5.2, Industrielle Meßtechnik, PTB-Braunschweig
Hoffmann, Klaus-Peter; 5.21, Härte und Schichtdicke, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Proceedings of the 2rd Seminar on Quantitative Microscopy : geometrical measurements in the micro- and nanometre range with far and near field methods, on 6th and 7th November 1997 in Wien, Austria:(1997), 196 - 209 |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-F-30 |
| Herausgeber(in) |
Hasche, Klaus; 5.2, Industrielle Meßtechnik, PTB-Braunschweig
Mirandé, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
Wilkening, Günter; 5.1, Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
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| ISSN | 0179-0609 |
| ISBN | 3-89701-082-8 |
| Berichtsnummer | PTB-F-30 |
| Verlag | Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW |
| Konferenzangaben | 2rd Seminar on Quantitative Microscopy, Vienna, 6-7, November, 1997, Austria |
