| Zugriffsnummer | 33526 |
| Dokumenttyp | Bericht |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Proceedings of the 2rd Seminar on Quantitative Microscopy : geometrical measurements in the micro- and nanometre range with far and near field methods, on 6th and 7th November 1997 in Wien, Austria |
| Quelle/Jahr | (1997), 209 S. |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-F-30 |
| Herausgeber(in) |
Hasche, Klaus; 5.2, Industrielle Meßtechnik, PTB-Braunschweig
Mirandé, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
Wilkening, Günter; 5.1, Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
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| ISSN | 0179-0609 |
| ISBN | 3-89701-082-8 |
| Berichtsnummer | PTB-F-30 |
| Verlag | Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW |
| Konferenzangaben | 2rd Seminar on Quantitative Microscopy, Vienna, 6-7, November, 1997, Austria |
| Zusammenfassung | Der Bericht faßt 31 Beiträge zusammen, die während des Seminars präsentiert wurden, und stellt die quantitative Erfassung der Geometrie von (Mikro-) Strukturen in den Mittelpunkt. Schwerpunkt ist der Themenbereich "Referenz-SPM, Erfassen und Berücksichtigen der Spitzenform, Spitze-Oberfläche-Wechselwirkung, Referenznormale und deren Kalibrierung sowie Kalibrierung von SPMs in der Oberflächenmeßtechnik." |
