| Zugriffsnummer | 33523 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Profilometry using a diode laser interferometer with wavelength modulation and lock-in technique |
| Autor(in); Institution |
Abou-Zeid, Ahmed; 5.23, Längenmessmaschinen und -messmittel, PTB-Braunschweig
Löbau, Jörg; 5.23, Längenmessmaschinen und -messmittel, PTB-Braunschweig
Wiese, Peter; 5.23, Längenmessmaschinen und -messmittel, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Metrology for quality control in production : proceedings ; Sept. 8 - 10, 1998, Vienna, Austria:(1998), 775 - 780 |
| Herausgeber(in) |
Osanna, P. H.
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| ISBN | 3-901888-02-0 |
| Verlag | Wien: TU Wien, Abt. Austauschbau und Messtechnik |
| Konferenzangaben | 6th ISMQC IMEKO Symposium Wien, Vienna, 08-10, September, 1998, Austria |
| Freie Schlagworte | profilometry ; interferometry ; diode lasers |