Zugriffsnummer 30561
Dokumenttyp Konferenzartikel
Sprache Deutsch
Titel Fertigung von Mikrotaststiften und kugelförmigen Mikroavitäten mittels Mikrofunkenerosion
Übersetzungstitel Fabrication of micro styli and spherical micro cavities by means of micro electrical discharge machining
Autor(in); Institution
Ferreira, Nelson; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
Metz, David; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
Krah, Thomas; 5.3, Koordinatenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Richter, C.; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
Dietzel, Andreas; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
Härtig, Frank; 5.3, Koordinatenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Büttgenbach, Stephanus; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
Quelle/Jahr Von Bauelementen zu Systemen : Mikrosystemtechnik Kongress 2013:(2013), 845 - 848
Availability [CD-ROM]
ISBN 978-3-8007-3555-6
URL
Verlag Berlin [u.a.]: VDE-Verl.
Konferenzangaben Mikrosystemtechnik-Kongress, MST 2013, Aachen, 14-16, Oktober, 2013, Deutschland
Freie Schlagworte Mikrotaststifte ; Drahterosion ; Erosion ; Tastkugel ; Mikrokavität
Zusammenfassung Monolithische Mikrotaststifte werden mittels Drahterosion (Wire Electrical Discharge Grinding oder WEDG) aus einer Hartmetall-Elektrode komplett herauserodiert. Sie setzen sich aus einer Kugel und einem Schaft zusammen, sodass keine aufwendige Montage erforderlich ist. Mittels dieses Fertigungsprozesses werden Mikrotaststifte mit einem Tastkugeldurchmesser von 300 bis 50 µm kosteneffektiv und mit Formabweichungen kleiner als 2 µm hergestellt. Die gefertigten Taststifte können in der taktilen Koordinatenmesstechnik oder als Werkzeug-Elektrode für weitere Erosionsvorgänge verwendet werden. Darüber hinaus wird vorgestellt, wie Kavitäten mit den erodierten Mikrotaststiften mittels eines Senkerosionsverfahrens (Die Sinking Erosion) hergestellt werden. Die erodierten kugelförmigen Kavitäten haben einen Durchmesser von 300 bis 50 µm mit einer Formabweichung von 1 bis 2 µm. Die gefertigten Mikrokavitäten können als Komponente in einer Spritzgussform verwendet werden.

Zitierung

Ferreira, N., Metz, D., Krah, T., Richter, C., Dietzel, A., Härtig, F., & Büttgenbach, S. (2013). Fertigung von Mikrotaststiften und kugelförmigen Mikroavitäten mittels Mikrofunkenerosion. Mikrosystemtechnik-Kongress, MST 2013, Aachen, 14-16, Oktober, 2013, Deutschland.

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