| Zugriffsnummer | 30466 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Präzise taktile Dickenmessung weicher und transparenter Schichten als Referenz für optische Messverfahren |
| Autor(in); Institution |
Li, Zhi; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Brand, Uwe; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Ahbe, Thomas; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | 6. Kolloquium Mikroproduktion:(2013), B25-1 - B25-6 |
| Schriftenreihe | Schriftenreihe des Instituts für Produktionsmesstechnik: 10 |
| Herausgeber(in) |
Tutsch, Rainer
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| ISBN | 978-3-8440-2243-8 |
| Verlag | Aachen: Shaker |
| Konferenzangaben | 6. Kolloquium Mikroproduktion, Braunschweig, 08, Oktober, 2013, Deutschland |
| Freie Schlagworte | Taktile Messtechnik |
| Zusammenfassung | In Mikrosystemen werden heutzutage metallische Bauteile zunehmend durch solche aus kostengünstigen Polymeren ersetzt. Die zuverlässige Qualitätskontrolle von Polymerteilen erfordert Kunststoff-taugliche dimensionelle Messverfahren mit hoher Genauigkeit. Da Polymere unter Druck nachgeben, lassen sich Schichtdicken bzw. Strukturhöhen mit herkömmlichen Tastschnittgeräten nicht exakt genug messen. Unsere Anstrengungen zur Realisierung präziser taktiler Oberflächenmessungen für weiche und transparente Strukturen auf hartem Substrat werden im Folgenden dargestellt. Erste experimentelle Untersuchungen haben gezeigt, dass das in diesem Manuskript vorgestellte analytische Modell in der Lage ist, die Oberflächendeformationen der Polymerproben unter taktilem Scan gut zu beschreiben. |
