| Zugriffsnummer | 30405 |
| Dokumenttyp | Bericht |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen |
| Autor(in); Institution |
Knappe, Silvia; 9.33, Kryoelektronik, PTB-Berlin
Elster, Clemens; 10.32, Meßdatenverarbeitung, PTB-Berlin
Aßmann, Cornelia; 9.33, Kryoelektronik, PTB-Berlin
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| Quelle/Jahr | (1995), 44 S. |
| Schriftenreihe | PTB-Bericht PTB-EW-7 |
| Herausgeber(in) |
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
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| ISSN | 0341-6704 |
| ISBN | 3-89429-910-X |
| Berichtsnummer | PTB-EW-7 |
| Verlag | Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wissenschaft |
| Freie Schlagworte | Versuchsplanung ; Niob-Dünnschichten ; Modellbildung ; Screening-Experimente |
| Zusammenfassung | Zusammenfassung: Die Anwendung von Methoden der Versuchsplanung wird am Beispiel der Qualitätsoptimierung von Niob-Dünnfilmen beschrieben. Zum einen wird ein Fallbeispiel für die Modellbildung von Ziel- und Meßgrößen in Abhängigkeit vorgegebener Einflußgrößen vorgestellt. Zum anderen wird von der Durchführung einer Versuchsreihe zur Selektion der wesentlichen Einflußgrößen aus einer großen Anzahl potentieller Einflußgrößen eines Prozesses berichtet. |
