Zugriffsnummer 30239
Dokumenttyp Konferenzartikel
Sprache Deutsch
Titel Fallbeispiel Messen von Formelementen : gegen Störeinflüsse robuste Auswertung zusammengesetzer Geometrien auf der Basis gemessener Punktwolken
Autor(in); Institution
Tutsch, Rainer; TU Braunschweig, Braunschweig, GERMANY
Galovska, Maryna; TU Braunschweig, Braunschweig, GERMANY
Petz, Markus; TU Braunschweig, Braunschweig, GERMANY
Krystek, Michael; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
Quelle/Jahr 5. VDI/VDE-Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2013 : normgerechte Auswertung, Charakterisierung und Tolerierung von Rauheit und Mikroformelementen:(2013)
Schriftenreihe VDI-Berichte: 2194
ISBN 978-3-18-092194-5
Verlag Düsseldorf: VDI-Verlag
Konferenzangaben 5. Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik, Nürtingen, 23-24, Oktober, 2013, Deutschland
Zusammenfassung Die Vorgehensweise für die Auswertung von Messpunktwolken wird schrittweise erläutert. In einem Vorverarbeitungsschritt werden Ausreißer erkannt und eliminiert, es wird eine Regularisierung auf ein festes Raster vorgenommen und es werden Filterungen durchgeführt, um beispielsweise das Rauschen zu reduzieren. In dem resultierenden Messdatensatz werden einzelne Formelemente identifiziert, separiert und die jeweils zugeordneten dimensionellen Parameter ermittelt. Die Separation reagiert empfindlich auf Störungen in den Messdatensätzen. Es wird ein alternativer Algorithmus vorgestellt, bei dem ohne Separation eine Approximation mit vollständigem mathematischem Modell durchgeführt wird und das eine erheblich geringere Störempfindlichkeit aufweist.

Zitierung

Tutsch, R., Galovska, M., Petz, M., & Krystek, M. (2013). Fallbeispiel Messen von Formelementen : gegen Störeinflüsse robuste Auswertung zusammengesetzer Geometrien auf der Basis gemessener Punktwolken. 5. Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik, Nürtingen, 23-24, Oktober, 2013, Deutschland.

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