| Zugriffsnummer | 29974 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Integration eines Mikrotasters aus Silizium in einem Verzahnungsmessgerät zur genauen Messung von Mikroverzahnungen |
| Autor(in); Institution |
Ferreira, Nelson; 5.3, Koordinatenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Krah, Thomas; 5.3, Koordinatenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Kniel, Karin; 5.3, Koordinatenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Härtig, Frank; 5.3, Koordinatenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Dietzel, Andreas; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
Büttgenbach, Stephanus; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
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| Quelle/Jahr | 6. Kolloquium Mikroproduktion:(2013), B33-1 - B33-6 |
| Schriftenreihe | Schriftenreihe des Instituts für Produktionsmesstechnik: 10 |
| Herausgeber(in) |
Tutsch, Rainer
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| ISBN | 978-3-8440-2243-8 |
| Verlag | Aachen: Shaker |
| Konferenzangaben | 6. Kolloquium Mikroproduktion, Braunschweig, 08, Oktober, 2013, Deutschland |
| Freie Schlagworte | Mikroverzahnung ; 3D-Mikrotaster ; Verzahnungsmessgerät ; Verzahnung ; Koodinatenmessgerät ; KMG ; Gear Measuring Instruments ; GMI |
| Zusammenfassung | Die Integration von Mikrotastern in Verzahnungsmessgeräte (Gear Measuring Instruments - GMI) ermöglicht vollautomatisierte Messungen von Mikroverzahnungen mit Normalmodulen kleiner als 1 mm. Der im Institut für Mikrotechnik (IMT) entwickelte 3D-Mikrotaster besteht aus einem Silizium-Kraftsensor und einem meist gerade ausgerichteten Taststift mit einem Tastkugeldurchmesser unter 300 μm. Der Kraftsensor wird mikrotechnisch hergestellt. Die kleinen Außenabmessungen des Mikrotasters und die Montage in einem kompakten Gehäuse erlauben einen Aufbau des Tastsystems mit einem Außendurchmesser von maximal 16 mm und gleichzeitig eine gute Handhabung des zu messenden Mikrosystems. Zahlreiche Messungen wurden mit dem Mikrotaster an der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) durchgeführt. Zuerst wurde der Mikrotaster an einer Kalibrierkugel eingemessen, um sowohl seine Empfindlichkeit als auch sein mechanisches Verhalten zu bestimmen. Danach wurden Profil- und Flankenlinienmessungen auf einem kalibrierten Stirnrad mit einem Normalmodul von 1 mm durchgeführt. Aus den Messungen wurden Profil- und Flankenlinienabweichungen bestimmt, die mit Kalibrierwerten aus einem industriellen Koordinatenmessgerät und mit Standard-Tastsystemen verglichen wurden. Die hier präsentierten Ergebnisse sind vielversprechend für die Herstellung von Mikrotastern mit Tastkugeldurchmessen bis hinunter zu 50 μm und deren Einsatz in der Mikroverzahnungsmesstechnik. |
Zitierung
Ferreira, N., Krah, T., Kniel, K., Härtig, F., Dietzel, A., & Büttgenbach, S. (2013). Integration eines Mikrotasters aus Silizium in einem Verzahnungsmessgerät zur genauen Messung von Mikroverzahnungen. 6. Kolloquium Mikroproduktion, Braunschweig, 08, Oktober, 2013, Deutschland.