| Zugriffsnummer | 29779 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Sensorentwicklung zur deflektometrischen Topografiemessung mit sub-Millimeter Aperturen |
| Autor(in); Institution |
Ehret, Gerd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Quabis, Susanne; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Schulz, Michael; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Andreas, Birk; 4.3, Quantenoptik und Längeneinheit, PTB-Braunschweig
Geckeler, Ralf D.; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | DGaO-Proceedings: 114 (2013) |
| Availability | [Online only] |
| ISSN | 1614-8436 |
| Persistent Identifier | |
| URL | |
| Verlag | Erlangen: Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik |
| Konferenzangaben | 114. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik e.V, Braunschweig, 21-25, Mai, 2013, Deutschland |
| Freie Schlagworte | Deflektometrie ; Ebenheitsmessung ; Autokollimator |
| Zusammenfassung | Es wird ein Null-Winkelsensor mit sub-Millimeter-Apertur und Auflösungen von 0,01 arcsec vorgestellt. Dieser Null-Winkelsensor in Kombination mit einem speziellen deflektometrischen Verfahren (EADS) ermöglicht es, in der Kleinwinkel-Deflektometrie laterale sub-Millimeter Auflösungen zu erreichen. |
Zitierung
Ehret, G., Quabis, S., Schulz, M., Andreas, B., & Geckeler, R. D. (2013). Sensorentwicklung zur deflektometrischen Topografiemessung mit sub-Millimeter Aperturen. 114. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik e.V, Braunschweig, 21-25, Mai, 2013, Deutschland.