| Zugriffsnummer | 29009 |
| Dokumenttyp | Dissertation |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Monte-Carlo-Programm für die Simulation der Bildentstehung im Rasterelektronenmikroskop |
| Autor(in); Institution |
Gnieser, Dominic; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | (2013), 192 S. |
| Schriftenreihe | Schriftenreihe des Instituts für Produktionsmesstechnik: 6 |
| Dissertationsvermerk | Dissertation, Technische Universität Braunschweig, 2012 |
| ISBN | 978-3-8440-1806-6 |
| Verlag | Aachen: Shaker |
