Anwendungen und Aufgaben der Vakuumtechnik

Jousten, Karl

doi:https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2192-8_2

Zugriffsnummer	28690
Dokumenttyp	Buchartikel
Peer Review	unbekannt
Sprache	Deutsch
Titel	Anwendungen und Aufgaben der Vakuumtechnik
Autor(in); Institution	Jousten, Karl; 7.5, Wärme und Vakuum, PTB-Berlin
Quelle/Jahr	Wutz Handbuch Vakuumtechnik:(2013), 19 - 28
Auflage	11. Auflage
Herausgeber(in)	Jousten, Karl; 7.5, Wärme und Vakuum, PTB-Berlin
ISBN	978-3-8348-1745-7
DOI	https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2192-8_2
Verlag	Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag
Freie Schlagworte	industrielle Anwendung ; Vakuumtechnik ; Mikroelektronik ; Forschung

Zitierung

Jousten, K. (2013). Anwendungen und Aufgaben der Vakuumtechnik. In K. Jousten (Ed.), Wutz Handbuch Vakuumtechnik (pp. 19–28). Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2192-8_2

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