| Zugriffsnummer | 28570 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Scanning probe microscopes for dimensional length measurements |
| Autor(in); Institution |
Hasche, Klaus; 5.4, Industrielle Messtechnik, PTB-Braunschweig
Jusko, Otto; 5.21, Maß und Form, PTB-Braunschweig
Koenders, Ludger; 5.101, Rastersondenmikroskopie an quasiperfekten Oberflächen, PTB-Braunschweig
Thiele, Kerstin; 5.43, Schichtdicke, PTB-Berlin
Wilkening, Günter; 5.1, Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
Zhao, X.; 5.13, Mikrostrukturmeßsysteme, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | American Society of Precision Engineering: Proceedings of the 11th annual meeting:(1996), 369 - 374 |
| ISBN | 1-88770-616-X |
| Verlag | Raleigh, NC: American Society for Precision Engineering |
| Konferenzangaben | 11th Annual Meeting The American Society for Precision Engineering, Monterey, Calif., 09-14, November, 1996, USA |
