| Zugriffsnummer | 27226 |
| Dokumenttyp | Buchartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Metrology for dimensional analysis of thin films |
| Autor(in); Institution |
Busch, Ingo; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Koenders, Ludger; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Introductory guide to nanometrology:(2010), 22 - 28 |
| Availability | [online] |
| Herausgeber(in) |
Hansen, Poul-Erik
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| ISBN | 978-0-9566809-1-4 |
| URL | |
| Verlag | Cranfield: Co-nanomet Consortium |
