| Zugriffsnummer | 26938 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Messunsicherheit von AFM an Mikro- und Nanostrukturen mit hohem Aspektverhältnis : ein Überblick gemäß Stand der Technik ergänzt durch Unsicherheitsuntersuchungen von Seitenwandmessungen |
| Autor(in); Institution |
Hüser, Dorothee; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Dai, Gaoliang; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Häßler-Grohne, Wolfgang; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Messunsicherheit praxisgerecht bestimmen : Erfurt, 8. und 9. November 2011:(2011), 221 - 235 |
| Schriftenreihe | VDI-Berichte: 2149 |
| ISBN | 978-3-18-092149-5 |
| Verlag | Düsseldorf: VDI-Verl. |
| Konferenzangaben | 5. Fachtagung: Messunsicherheit praxisgerecht bestimmen, Erfurt, 08-09, November, 2011, Deutschland |
| Freie Schlagworte | Messunsicherheit ; atomic force microscope ; Strukturseitenwand ; hohes Aspektverhältnis |
| Zusammenfassung | Die Messunsicherheit von einem AFM (Abkürzung für den englischen Begriff atomic force microscope) wird durch seine wesentlichen Komponenten, das Positioniersystem und das Sondensystem, dazu durch den Gesamtaufbau (die kinematische Kette) und durch Umwelteinflüsse bestimmt. In diesem Artikel wird einerseits ein Überblick zur Charakterisierung der Auflösung, des Rauschens und der systematischen Abweichungen des Positioniersystems und der Sensorik gemäß dem Stand der Technik gegeben. Zum anderen werden Unsicherheiten dargelegt, die im Messprinzip als solches, das auf interatomaren Kräften beruht, begründet sind und besonders bei stark veränderlichen geometrischen Verhältnissen und bei wechselndem Material eine Rolle spielen. Bei Messaufgaben and Strukturen mit hohen Aspektverhältnissen, d.h. steilen Seitenwänden, liegen stark veränderliche Wechselwirkungsverhältnisse vor. The measurement uncertainty of an AFM (atomic force microscope) is determined by its main components, the positioning system and the sensor system, and in addition by the construction of the whole instruments, its kinematic chain, and by environmental influences. This article gives a survey on the characterization of resolution, noise, and systematic deviations of the positioning system and of the sensor system according o the state of the art. Uncertainties will be described that occur due to the measurement principle as such. The measurement principle is based on interatomic interaction forces changing significantly with varying geometry and material. Therefore the uncertainty due to changing interaction behaviour needs consideration for measurement tasks on structures with high aspect ratio, i.e. steep side walls. |
Zitierung
Hüser, D., Dai, G., & Häßler-Grohne, W. (2011). Messunsicherheit von AFM an Mikro- und Nanostrukturen mit hohem Aspektverhältnis : ein Überblick gemäß Stand der Technik ergänzt durch Unsicherheitsuntersuchungen von Seitenwandmessungen. 5. Fachtagung: Messunsicherheit praxisgerecht bestimmen, Erfurt, 08-09, November, 2011, Deutschland.