| Zugriffsnummer | 26886 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Normen und Normale für die flächenhafte Rauheitsmesstechnik |
| Autor(in); Institution |
Krüger-Sehm, Rolf; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | 4. Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2011 : Messprinzipien, Messgeräte, Anwendungen:(2011), 173 - 186 |
| Schriftenreihe | VDI-Berichte: 2133 |
| ISBN | 978-3-18-092133-4 |
| Verlag | Düsseldorf: VDI-Verl. |
| Konferenzangaben | 4. Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2011, Erlangen, 25-26, Oktober, 2011, Deutschland |
| Zusammenfassung | Optische Oberflächenmessgeräte erfassen die Topographie von Oberflächen schnell und liefern aussagekräftige Bilder. Um Vertrauen in die Glaubwürdigkeit der zugehörigen Topographiedaten zu bekommen, kann ein Nutzer anhand der Spezifikationsblätter zu den verschiedenen Messverfahren in der ISO-25178-Normen herausfinden, welches metrologische Merkmal eines Gerätes jeweils die Daten seines Interesses beeinflussen kann. In diesem Beitrag werden vor dem Hintergrund des Normenwerkes der "Geometrischen Produktspezifikation" einige Spezifikationen herausgegriffen und dargestellt, wie sie durch Messungen an dafür geeigneten Normalen verifiziert werden können. |
